<FINE series PURE>超高純度用、 触媒反応を利用した、水分発生装置です。
<特長> 1.触媒を利用した反応炉。 2.幅広い濃度制御範囲。 3.優れた安全性。 4.各種インターロック。 5.安全仕様。
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<用途> フジキンのWVGは、熱処理装置である拡散装置、RTP装置等におきまして 様々なプロセスのアプリケーションにご利用いただけます。
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特殊バルブ機器類だけでなく、 超精密ながれ(流体)制御システムにおける トップランナーへと成長を遂げたフジキン。 極限の技術が要求される陸・海・空の多彩なフィールドで、 私たちフジキンの最先端テクノロジーが活かされています。 あらゆる最先端産業の分野を見つめる私たちは、今後、 新素材を含め高分子化学やバイオテクノロジー、新エネルギー、 エコロジー、マイクロマシン、ナノ・ピコテクノロジー、 メディカルエンジニアリング、福祉機器等々の最先端技術及び ICT(情報通信技術)・IoT(モノのインターネット) を駆使した事業の展開をはかってまいります。 【事業分野】 ・半導体製造装置用超精密バルブ機器 ・宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器 ・石油化学プラント用特殊バルブ機器 ・バイオ(医薬・食品)用無菌プロセスバルブ機器 ・新エネルギー・二次電池用バルブ機器 ・原子力発電所用計装バルブ機器 ・海洋開発用ながれ(流体)制御システム機器 ・ライフサイエンス─医療・介護・ヘルスケア/チョウザメ事業─