銀、銅（6N）、錫（6N）など様々な大型スパッタリングターゲットの切削加工はおまかせください！
当社の「門型マシニングセンター」設備は門幅2100mmのため、 大型の半導体用（Φ660mm以上）、液晶製造用（2000ｘ4000mmまで）の大型スパッタリングターゲット加工が可能です。 また、NC制御＋多軸ＡＩ制度補正機能を有するため、繰り返し精度も高く工作機械上で3次元測定機能を用い、加工製品の制度保証を全数行うことが可能です。 月産1000枚程度のロットものの加工に適しています。 さらに、複数の協力工場と連携し錫、アルミ、銅など様々な素材での加工実績を積み重ねてまいりました。 【ご導入事例】 ■銀スパッタリングターゲット切削加工 ■銅スパッタリングターゲット切削加工（６N） ■錫スパッタリングターゲット切削加工（６N） ・全数測定データ添付 ・量産対応 ・脱脂、梱包、全国輸送対応 ※詳しくはHPをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【保有設備・システム】 【機械加工設備】 ■門型マシニングセンター：2000mm×4000mm(オークマ) 主軸6000rpm ■門型マシニングセンター：2000mmx3000mm(オークマ) 主軸6000rpm ■門型マシニングセンター：1600mm×3000mm(オークマ) ■プラノミラー：2500mm×4000mm(本江) ■複合プレーナー:2300mm×6000mm(丸福) ■横中ぐり盤：BFT-11C(東芝) ■ラジアルボール盤：1600mm(オークマ) ■平面研削盤：500mmx700mm（ナガセ） 【CAD/CAM】 ・2D naska ・3D go2cam ・3D cimatron 【測定器】 ・画像寸法測定器 KEYENCE IM7500
価格帯
納期
用途／実績例
■制作可能サイズ 2000mm x 4000mm ■加工実績 □高純度スパッタリングターゲット材 銅（Cu）～6N 錫（Sn）～6N □スパッタリングターゲット材 銀（Ag） 銅（Cu）~φ660mm 錫（Sn） モリブデン（Mo） 亜鉛（Zn） アルミ（AL） チタン（Ti） ハステロイ インコネル ■スパッタリングターゲット材むけ特殊対応 熱処理 歪み矯正 ドライ切削・研削（切削油無し・研削油無し） 面粗度測定 腐食防止対策 非接触測定 レーザー刻印（個別ナンバリング等） 測定データによる製品トレーサビリティの確立 高効率切削屑回収 脱脂 輸送時のキズ、こすれ等を考慮した梱包・配送方法の立案 ■トレーサビリティ 非接触測定器：KEYENCE製 IM-7500 弊社では、「高純度（～6N）」スパッタリングターゲット材に対し完全非接触にて計測。 測定時に発生しうる、キズ・打痕・錆び等を徹底して排除しております。 プログラム制御された画像寸法測定器による「全数測定」「データ添付」等のトレーサビリティを確保した納品に対応しております。
詳細情報
-
大型スパッタリングターゲット量産加工 ・半導体用（Φ660mm以上） ・液晶、FPD用（2000ｘ4000mm） まで対応可能 複数台の門型マシニングセンタを設備、中量産の大型スパッタリングターゲット加工を行っています。 また、NC制御＋多軸ＡＩ制度補正機能を有するため、繰り返し精度も高く工作機械上で3次元測定機能を用い、加工製品の精度保証＋トレーサビリティの確保を実現しています。 ■切粉回収率の向上 また加工機を専用とすることで、貴金属スパッタリングターゲット材・高純度スパッタリングターゲット材にて切粉回収率を向上させています。 □高純度スパッタリングターゲット材 ・銅（Cu）～6N ・錫（Sn）～6N □貴金属スパッタリングターゲット材 ・銀（Ag）
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
有限会社埼玉プレーナー工業所は、鋳物の仕上げを行う金属加工屋として 設立し、切削の基礎であるSS400 S45Cのプレーナー加工からはじまり、 現在では門型マシニングセンターによる、銅、錫、ハステロイ インコネル SUS304等のさまざまな金属まで加工の幅を広げてまいりました。 工作機械、製紙機械などのベース（台座）、やそれらに使用される大型部品、 半導体素材、液晶製造装置部品などの精度を重視した加工を得意としております。