ワーク材質や膜種、膜厚から、弊社がご提案する技術や加工例をご紹介！
「気相技術」は、樹脂原料・燃料電池など『新素材・新材料』『エネルギー』、医療センサー・機器など『医療・ヘルスケア』、電子部品・新ディスプレイなど『モバイル端末』『ウェアラブル機器』『オートモーティブ』など多様な分野で活用されています。 また、多様なプロセス・膜厚・膜種で1nm～1000nmの成膜を実現。 蒸着方式やCVD方式、ALD方式、スパッタ方式でコーティングしています。 【特長】 ■ALDロボットCVA series ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能 ■バレル型ALDロボットCVA-B series 低温ALD装置とバレル機構の融合 ■低温高周波励起DLC成膜装置CVC series 低温で、グラファイトからDLCまで密着性の良い成膜が可能 ■バブリングCVDロボットCVB series 液体→気体 低温で、低コスト＆高品質成膜が可能 ■IBAD（イオンアシスト蒸着法）CVI series IBADによる受託成膜例 低温での低エネルギー照射を可能にし、タッチパネルの透明導電膜（Zn O）や高融点金属電極形成の密着性が向上
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基本情報
【ALDによる受託成膜例】膜厚100nm以下 ■成膜スペック ワーク：ウェハ、金属（SUS、アルミ、銅など）、樹脂、フィルム他 サイズ：一辺100mm程度あれば形状は問いません ■適応膜 SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、ZrO₂、HfO等 【DLCによる受託成膜例】膜厚100nm～1μ程度 ■成膜スペック ワーク：導電性フィルム、構造補強、低摩擦フィルム、樹脂製品、自動車部品、金属部品、医療製品等 サイズ：一辺100mm程度あれば形状は問いません ■適応膜 DLC膜、グラファイト膜 【IBADによる受託成膜例】膜厚100～1000nm ■成膜スペック ワークサイズ：φ100～300ｍｍ（不定形・円筒も可能） 層形成：単層膜・多層膜可能（Max.4層） パターン蒸着：メタルマスク対応（オプション） ■適応膜 高融点金属、クロム、シリコン、アルミ、銅、SiO₂、SiN、ZnO等 ご紹介しているもの以外でも、お客様のご要望内容によっては対応可能な場合も多くございます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
カーボンニュートラル実現に向けたキーテクノロジーの1つである次世代電池、さまざまな機能を持ったナノスケールの機能性粒子、５G・６G通信システムや環境対応車の普及、先進運転支援システム (ADAS)の進歩を背景に超小型化・高信頼性が求められるMLCCをはじめとする受動部品、DXによる質の高い医療、AI・デジタル化の進む医療機器など、社会のあらゆる分野で我々のコーティング技術に期待が集まっています。