自動外観検査装置

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最終更新日：2018年11月01日

公式サイト

サブミクロンレベルの欠陥(傷・異物)の自動マッピングします

当社が取り扱っております、自動外観検査装置とは、フィルム・ガラスなど多種の材料欠陥検査を行う装置です。傷、異物、ピンホールなど多種類の欠陥を検出可能です。検出した欠陥はマッピングされ、その位置をマウスでクリックするだけで、顕微鏡画像の観察ができます。目視で行っていたロールフィルム末端検査にも対応致します。【特長】 ■自動マッピングを行い、サブミクロンレベルの傷・異物の位置情報を取得 ■マッピングデータの位置情報により、改めて各傷・異物の詳細検査を行う ■透過・反射、明・暗視野さらに偏光、微分干渉観察など多彩な検査が可能 ■今まで検査困難な欠陥に対しても、多数の検査実績あり ■目視検査で難しかった、欠陥・ムラを可視化し、簡易検査を実現　(ムラ・ビュアー) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.infgate.com/kensa.html

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基本情報

【検査対象例】 ■インラインで問題となった欠陥の詳細の検査 ■インライン検査で対応できない欠陥の検査 ■今まで目視検査していた欠陥の検査 ■薄膜のピンホール、線傷の検査 ■透明電極パターン検査・測長 ■Si・サファイア・ウェハの傷・異物検査、外周検査 ■結晶成膜面の異常検査 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。