４本の独立した排気操作が可能なオイルフリー保管装置です。コンタミネーションの付着を大幅に低減します。
本装置はＴＥＭホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。 独立した真空室に保管するため、個別に出し入れが可能です。ＴＥＭホルダーポートはお客様のお使いのＴＥＭホルダーに合わせて製造いたします。
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基本情報
ＴＥＭホルダーについて ＴＥＭホルダーポートを４本搭載。お手持ちのホルダーに合わせたポートを作成します。ＴＥＭメーカー各社の特殊ホルダーに対応可能です。 独立排気系によりホルダー交換時、他の保管ホルダーは大気に晒されません。各ホルダー試料部が見られるガラス窓付き（ＮＷ４０フランジ） 操作性 タッチパネル搭載で操作も簡単。プログラム制御による自動排気シーケンスやインターロック制御を搭載。 ポンプのメンテナンス時期を画面に表示してお知らせいたします。
価格情報
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価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
TEMホルダーを真空中で保管するための装置です。
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企業情報
スパッタ装置、蒸着装置、プラズマ照射装置、CVD装置、真空コンポーネントを製造しております。 電子顕微鏡試料作成用の前処理装置や研究開発機関向けの小型真空装置をラインナップしております。 私たちは、最先端技術研究開発分野で活躍されている方々の必要な機器開発を、早く・廉く供給し、実験過程で逐次改良､改造を加えて開発のサポートをして行くこともわが社の如く小回りの利く会社の任務と考えています。 半導体、バイオ、環境、ナノテク分野の新技術開発に必要な実験器具・装置の開発、及び新技術開発の最先端解析道具としての電子顕微鏡試料作製に関わる装置の開発、製品化、販売、サービスを行っております。
