学生向けの実験や教材作りに！卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置
『Meius Light』は、一般家庭のAC100V壁コンセントから 導入が可能な卓上蒸着装置です。 チャンバは分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを搭載可能。 【特長】 ■卓上で簡単に使えるコンパクトサイズ ■蒸発源はタングステンボート2個搭載 ■マグネット駆動式基板シャッタ装備 ■非常停止スイッチ装備 ■排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの組合わせ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（一部）】 ■基板サイズ：50mm 1枚（多種サイズの設計対応可能） ■蒸発源：抵抗加熱方式・切り替え式・AC10V 100A ■重量：約18kg（卓上チャンバのみ 制御BOXは除く） ■チャンバベント：導入圧力0.02Mpa以下（大気解放） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は主に、真空技術を応用した装置の設計・製造をしています。 真空技術はあらゆる産業の基盤となる技術であり、産業を底辺で支える 重要な仕事であると考えております。 個々には光通信に代表されるIT産業や半導体、電子工業産業並びに環境や エネルギー問題、医療、食料などの産業等に幅広く応用されております。