シロキサンガスによるウェハー汚染や接点障害を抑制！シロキサン含有量が5μｍ以下のフッ素ゴム系ペースト状シール剤「HVF-1」！
シロキサンフリーペースト状シール材『HVF-1』はシロキサン含有量が5μｍ以下なので、シロキサンによる被害を抑制します。 シロキサンによる「ウェハー汚染」や「接点障害」、「金属部の腐食」、「化学反応による異物の発生」、「露光装置レンズの汚れ」を抑制することで、クリーンルーム内部の隙間埋めや、半導体製造装置内部の目地止めに利用可能です。 【特長】 ■酸とアルカリ両方の薬品に耐性有り ■常温で自然乾燥 ■シリコーンを含んでいないフッ素ゴムが主原料 など ※無料サンプル進呈いたします。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。
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【用途】 ・配管フランジ部等接合面のシール ・ダクト接合部のシール ・薬液エッチング装置や半導体洗浄装置等のシール、補修 ・塗装関係、光学関係、精密機器関係などシロキサンNGな場面でのシール ・耐熱、耐薬品性が必要な設備、装置内部などのシール、補修目的等、シリコン材使用不可のシール剤としての代替 など
詳細情報
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HVF-1塗装直後被膜 HVF-1塗装直後被膜
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ＨＶＦ-1塗膜乾燥後 ＨＶＦ-1塗膜乾燥後
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企業情報
特殊なシール剤やコーティング剤の個別の開発も行っていますので、お困りのことがあればご相談下さい。
