ナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５ｍ作動距離。幅広い材質に対応。
attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な品質管理（QC）や品質保証（QA）の達成に貢献します。 【特長】 ■ピコオーダー分解能 ■広い作動距離範囲：数ミリメートルから最大5メートル ■高磁場、超高真空対応可能 ■モジュール式セットアップ ■超コンパクトなセンサヘッド ■3軸（X,Y, Z）構成可能 ※詳細はお問い合わせいただくか、PDFダウンロードからご覧ください。
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基本情報
最大センサ軸数：3 動作距離（WD）：0...5000 mm (センサヘッドにより異なる) センサ分解能：1 pm ターゲット速度：最高 2 m/s 測定帯域幅：10 MHz ※詳しくはお問い合わせください。
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用途／実績例
【分野】ラボテスト、ビームライン、振動計測、校正用途、ウェハ＆マスク検査、クローズドループ・モーションコントロール、正確性評価、特殊環境下での位置決め用途 【導入例】 ・半導体製造（ウェハステージのダイナミックモーションコントロール、測定・検査でのビームアライメント、ウェハ平坦度測定、リソグラフィと測定プロセスにおけるビームアパーチャやフィルタの位置決め、フォトリソグラフィでの超精密ポジショントラッキング） ・工作機械（ステージガイドによる超精密インライン・トラベルリアルタイム特性制御、工作機械とCMMの体積補正、モーションキャプチャのためのセンサ組み込み、座標測定機のモーショントラッキング、振動分析・補正） ・フォトニクス（超精密ファイバ位置決め、ビームステアリング、高分解能顕微鏡）
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| IDS3010 | コンパクトなモジュール型 レーザー干渉式変位センサです。 |
カタログ（4）
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企業情報
日本レーザーは1968年の創業より、レーザー専門商社の草分けとして、お客様に支えられながら、レーザー技術の進歩と共に歩んで来た日本で最古・最大のレーザー及び光関連製品の専門企業です。 従業員数の1割強をエンジニアに割いており、技術色の強みを持つ商社です。 米・英・独・仏・スイス・デンマーク・リトアニアなど世界各国の優れたレーザー製品、光関連製品を提供いたしております。各国のトップクラスのメーカーと代理店契約を締結しており、現在の海外取引先数は約50社になります。また当社は、世界より集めたレーザー関連機器を独自に組み上げ、応用システムとして販売提供が可能です。商社でありながらファブレスメーカー的なサービスも提供可能です。お客様の要求に感謝の気持ちを持って、常に柔軟でアグレッシブなソリューションを提供してまいります。