ナノオーダーの高精度位置決めと、1ピコメートルのセンサ分解能による変位測定で、高品質の半導体製造を実現
当社は、attocube社製の半導体製造装置向け『ナノ位置決めステージ』や 『レーザ干渉式変位センサ』を取り扱っています。 高精度の位置決めを実現でき、数kgの荷重量に対応したステージなど 様々なニーズに応えられる製品をラインアップ。 クローズドループ制御に対応しており、精密な制御を実現可能です。 非常にコンパクトで、装置への組み込みも容易に行えます。 【製品ラインアップ】 『ナノ位置決めステージ』 ■高真空・超真空対応 ■過酷な環境下でも高精度・高分解能での位置決め ■最大6軸までのステージを構築可能 『レーザ干渉式変位センサ IDS3010』 ■ピコメートルオーダーの高精度・高分解能 ■10MHzの超高速動作、最大5mの作動距離 ■様々な材質、超高真空・高磁場などの環境に対応 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【ナノポジショナ＆高精度ステージ】 ＊超高真空・高磁場・非磁性対応 ＊耐荷重：ナノメートルスケール分解能で数kgまで可能 ＊クローズドループ制御可能：高速、高分解能、高い位置再現性 【干渉式リニア変位センサ】 ＊ピコオーダー分解能と長い作動距離（5m） ＊超高速(10MHz) ＊多様な材質や極端環境（超高真空、高磁場）に対応
価格帯
納期
用途／実績例
【工作機械（QA, QC）】 ＊ステージガイドによる超精密インライン・トラベルリアルタイム特性制御 ＊工作機械とCMMの自動体積補正 ＊センサ内蔵によるモーションキャプチャ ＊三次元測定機のモーショントラッキング ＊振動と微動の監視・分析・補正 【半導体製造装置】 ＊ウェハステージのダイナミックモーションコントロール ＊測定・検査のためのビームアライメント ＊ウェハ平坦度測定 ＊リソグラフィと測定プロセスにおけるビームアパーチャとフィルタの位置決め ＊フォトリソグラフィにおける超精密ポジショントラッキング 【フォトニクス】 ＊ファイバアレイの超精密位置決め ＊光計測におけるレーザービームステアリングや光学部品のアライメント ＊高分解能顕微鏡内の位置決めやアライメント
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企業情報
日本レーザーは1968年の創業より、レーザー専門商社の草分けとして、お客様に支えられながら、レーザー技術の進歩と共に歩んで来た日本で最古・最大のレーザー及び光関連製品の専門企業です。 従業員数の1割強をエンジニアに割いており、技術色の強みを持つ商社です。 米・英・独・仏・スイス・デンマーク・リトアニアなど世界各国の優れたレーザー製品、光関連製品を提供いたしております。各国のトップクラスのメーカーと代理店契約を締結しており、現在の海外取引先数は約50社になります。また当社は、世界より集めたレーザー関連機器を独自に組み上げ、応用システムとして販売提供が可能です。商社でありながらファブレスメーカー的なサービスも提供可能です。お客様の要求に感謝の気持ちを持って、常に柔軟でアグレッシブなソリューションを提供してまいります。
