優れた耐候性能！片面の多層膜コートでもソリが発生しにくい成膜方法を実現
『無応力コート』は、基板のソリ（応力）を限りなくゼロに 近づけた多層膜です。 通常の多層膜は、膜自体が基板を引っ張る力（応力）が発生し、 基板が反るという現象が発生してしまいます。 当社では、独自の技術開発により、片面の多層膜コートでもソリが 発生しにくい成膜方法を実現いたしました。 【特長】 ■片面の多層膜コートでもソリが発生しにくい成膜方法を実現 ■優れた耐候性能 ■耐UV試験(10000mJ/cm2照射)、アニール試験(250℃2H)達成 ■抜群の平坦度 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【外観・生産能力】 ■分光特性：面内ムラ5nm以内、ドーム内ムラ5nm以内 ■外観：Φ200ウエハーにて点欠陥30μm以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
京浜光膜工業は、先進でたゆみない独自の技術開発を行い、 産業の中核を成す光学薄膜製品とサービスを提供することにより、 さらなる技術革新と社会の発展に貢献し続けることを目指します。
