複素誘電率(複素屈折率)の周波数依存性を計測可能な唯一の装置です。
電場強度と共に位相情報も同時計測が可能。
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基本情報
テラヘルツエリプソメーターとは、光と電磁波の強化周波数である1THz,波長300μm前後の帯域で従来赤外線やミリ波と呼ばれ、この波長域の入射による反射楕円偏光の解析で、半導体の様々な電気的特性を算出する装置です。テラヘルツ波は透過性と物質の同定能力を備え、電波より短波長で微小観察に最適です。低エネルギーですので分子間の結合状態の観察にも応用可能です。西華デジタルイメージで取り扱っているテラヘルツ分光装置/テラヘルツエリプソメーターは電場強度と共に位相情報も同時計測が可能。
価格帯
納期
用途/実績例
高抵抗シリコンウエハ 樹脂素材の透過 SiC基板の分布測定 GaAs エピ基板の測定
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