ウエハの全面測定での欠陥検出に
フォトルミネッセンス画像と分光情報の同時取得可能な画期的な製品
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基本情報
フォトルミネッセンス法 （Photo Luminescence）とは分光測定法の一種で、検査対象に光やレーザー等を照射したときに、検査対象が光子（Photon）を吸収した後に再発光する現象を観察する手法です。 フォトルミネッセンスイメージング装置は、高い解像度でフォトルミネッセンス画像（PL画像）を取得するだけではなく、分光情報も得られます。そのため半導体ウエハの結晶欠陥の位置を確認することが可能です。装置はエントリーモデルから、ウエハの全面測定やカラーフォトルミネッセンス画像、量産工程用のモデルなど各種モデルをラインナップしております。
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用途／実績例
半導体結晶欠陥
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