流体の選択・切替を制御、200万回以上の高耐久化を実現。
<特徴> 1.バルブを駆動させると任意のガスのみを分析機に供給し、 閉時に内部に残る不要なガスを排出します。 2.ボルト連結構造のため、現場でも容易に増設可能。 3.ベースブロックからバルブモジュールを取り外しての交換も容易。 4.半導体向けバルブ技術のノウハウを用いて、 200万回以上の高耐久化を実現。 5.ステムにガイド機能を持たせることで安定したシート性能を実現。 貴重なサンプリングガスを無駄にしません。
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企業情報
フジキンは特殊バルブ機器を中心とする、最先端の超精密流体制御システムメーカーです。1930年の創業以来、常に極限に挑戦し、技術の究極を超えることを企業ポリシーとしてきました。半導体分野をはじめ、水素、製薬、分析・計測、宇宙分野など、幅広いフィールドで人々の暮らしと社会を支えています。私たちはこれからも、流体制御機器・システムの総合技術で持続可能な社会に貢献していきます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。