小型化・高機能化が加速する高性能電子部品の製品検査に。グローバルで支持される光学式3D表面形状測定機『MarSurf CL』
MarSurf CLは、形状測定やキズの検出にかかる時間を大幅に短縮でき、全数検査も実現可能です。 高分解能で、微小なキズの検出や極小部位の測定に好適。 192本のプロフィールを取得するクロマチックラインセンサーCLが 非接触での平面の高速測定を可能にします。 ★電子部品・半導体の測定事例を掲載した資料を進呈中！PDFダウンロードよりご覧下さい ■測定部品例 - □評価項目例 ■ウエハー -バンプ - □断面粗さ(R／2D) □形状・寸法 □ステップハイト □３D高さ・２Dサイズ ■マイクロビア - □ステップハイト □断面粗さ(R／2D) ■ワイヤーボンディング - □ステップハイト（ループ高さ) □トポグラフィーレイヤー □形状 ■表面実装部品 - □位置度、寸法 □ステップハイト ■ダイアタッチ - □3D画像 □厚さ、高さ □最大高さ □サイズ □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞ □形状（高さ、輪郭） □ステップハイト ■フィルム - □厚み ■携帯電話用スピーカー - □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞、平坦度 ■ウエハ― - □研磨 □反り
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基本情報
【MarSurf CLの特長】 ◎192本のプロフィール取得が可能な「クロマチックラインセンサーCL」による高速非接触測定 →平面の高速測定に好適。100×100mmを最短1分で測定！広範囲の測定にも。 →光沢面、透明な表面も測定可能。 →測定対象物にキズをつけない非接触測定。 ◎Z方向0.02μm、X方向1μmの高分解能 →微小なキズの検出や極小部位の測定に対応。 ◎ロングストロークのXY電動テーブル、グラナイト製ベースを採用 →さまざまな形状・大きさの測定物に。大型・重い測定物にも対応。 ※テクニカルデータなど詳細は製品カタログをご覧ください。 ※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。
価格帯
納期
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用途／実績例
【導入実績】 ・自動車部品 ・電子部品／半導体 ・鉄鋼 ・切削工具 ・太陽光パネル ・医療用高精密部品 ・レンズ ・印刷 【評価項目例 3D／2D】 ・輪郭 ・真直度 ・断面積 ・層厚 ・反り/平坦度 ・形状 ・体積／摩耗 ・表面粗さ(R) ・断面粗さ(S) ※当社ではお客様のニーズに応じたソリューション提案も行っています。 製品・部品の形状測定でお困りの方はお気軽にご相談ください。
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| MarSurf CL |
カタログ（2）
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企業情報
ノギスから光学式3D表面形状測定機、カスタマイズド全自動測定ステーションまで。 Mahrは160年の歴史を持つ、製造業向け精密測定機器の総合メーカーです。 自動車・航空宇宙・産業機械・半導体・光学部品などをはじめとした製造業では、 開発・生産・品証においてますます高い精度が要求されています。 製造業向け精密測定機器業界の世界的なアプリケーションスペシャリストとして、 Mahrはお客様の測定タスクに対応する最新のソリューションをご提案いたします。 多様化する素材や複雑な形状、工場自動化／省人化など、 測定に関する問題を解決し、お客様個別の測定事例に対応します。 【主な事業所】 ドイツ ：Göttingen・Esslingen・Jena チェコ ：Probostov アメリカ：Providence 中国 ：Suzhou