光学式 3D表面形状測定機【測定事例進呈】

【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中！】 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。 2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。 ■評価項目例 3D／2D： ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積／摩耗 ■掲載測定事例 ウエハー（反り・バンプ・研磨） CMPパッド（受け入れ検査・製造ライン上での検査） ウエハーレベルレンズ・ウエハーレベルオプティクス（寸法・体積） マイクロレンズアレイ（幾何形状） ダイアタッチ（ボンドライン厚・ダイ／エポキシの高さ・輪郭解析） BGAはんだボール（径・高さ・共平面性） マイクロビア ワイヤーボンディング（ボール/パッド/ワイヤの幾何形状） MEMS（粗さ・反り） 表面実装部品（コンタクトの共平面性） フィルム厚み

【『MarSurf CP/CL』最新測定事例集進呈中！】 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 ■評価項目例 3D／2D： ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積／摩耗 ■掲載測定事例： 燃料電池 　- バイポーラプレート　- ボアホール　- シーリング　- メンブレン エレクトロニクス 　- BMGはんだボール　- プリンテッドエレクトロニクス　- ダイアタッチ 　- SMD　- MEMS　- マイクロレンズ　- パッド　- ボンディング 自動車 パーツ 　- シール面　- クランクシャフト　- ピストンリング　- 燃料ライン 　- インジェクターノズル　- ラック　- ベアリングシェル 　- ボールベアリング　- オートワインダー　- アルミニウム押出品 自動車 外装・内装 　- コーティング　- シートメタル　- レザー　- プラスチック

■共焦点(コンフォーカル)顕微鏡『MarSurf CM 』■ コンフォ―カルマルチピンホール技術を採用。 従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定を行います。 ー『MarSurf CM mobile』 　本体重量わずか5kgのモバイル型。大型の測定物、移動が困難なワークに。 　➡サンプルを切り出す事なく、直置きで高精度に表面測定。 　　車体等の塗装面、金属ローラー、シートメタル…など。 　➡サンプルの準備から測定までにかかる時間と手間を大幅削減。 　・粗さ、輪郭、形状、体積、平面度。 　・ナノメートル単位の高分解能。 　・接触式測定法と99％の相関性 ■三次元表面形状測定機『MarSurf CP/CL』■ 往復移動時の双方向スキャンによって測定スピードを高めた非接触タイプ。 ー『MarSurf CP』 　表面に高低差のあるワークに。測定・解析の自動化も可能。 ー『MarSurf CL』 　高速ラインセンサ搭載。 　0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。