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半導体検査の位置決め品質を維持 PICMAWalkアクチュエータ

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N-331

最終更新日:2026年06月06日

PIジャパン株式会社
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サブナノ分解能と50N高推力により、高速動作時でも微細位置ズレを抑制

N-331 PICMAWalkは、ピエゾ素子のナノ分解能とステッピング動作を融合したウォーキングドライブ・リニアアクチュエータです。 動作量は、25mm、50mm、100mmタイプがあり、駆動力50N、保持力60Nをもちます。 PiezoWalk(R)ウォーキングドライブは、複数のピエゾアクチュエータが歩行運動を行い、ランナーの送り動作につながります。 アクチュエータの制御により、1ナノメートル未満の分解能で最小のステップおよびフォワードフィードモーションが可能になります。 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度な位置測定を行います。また、10⁻9 hPa真空対応アクチュエータも対応します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

    圧電デバイスソレノイド・アクチュエータアクチュエーター
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半導体検査の位置決め品質を維持 PICMAWalkアクチュエータ

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基本情報

【特長】 ■PICMA技術による堅牢なウォーキングドライブ ■可変ランナー長さ:25mm~100mm ■最大5kgの荷重を正確かつナノメートルで正確に位置決め ■最大2kgの好適な減結合荷重 【ラインアップ(抜粋)】 ■N-331.10 ■N-331.20 ■N-331.40 ■N-331.13 ■N-331.23 ■N-331.43 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【用途】 ■顕微鏡 ■オートメーションでの使用 ■フォトニクス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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PICMAWalk ウォーキングドライブ『N-331』

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Physik Instrumente(PI)は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。

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