ウェハ搬送ロボットによる全自動搬送2マガジン対応の自動マスク露光機。
500万画素CCDによるアライメント精度±1.0µm。
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ウェハ搬送ロボットによる全自動搬送2マガジン対応の自動マスク露光機。
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