Mipox WaferEdgePolisherはSIウエハメーカー、再生ウエハメーカーを中心に200台以上の納入実績を誇ります。
テープ・エッジ・ポリッシャーのメリット ・ウェーハへのダメージが少ない ・ウェーハエッジ上の膜(例：SiO2)の除去が可能 ・ケミカルフリー加工 ・ユーティリティーの接続が簡単 ・様々なエッジ形状の成形が可能 ・粗削りも細かい研磨も可能 ・トップエッジ研磨が可能 ・SiCやGaNなどの難削材料も研磨可能 ・ノッチ、オリフラにも対応可能
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基本情報
STD(NME)タイプ 6,8,12インチ対応
価格情報
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納期
用途／実績例
Mipox Tape Edge Polisherは、研磨テープを用いたウェーハ端面研磨装置として、SIウェーハメーカー、再生ウェーハメーカーを中心に200台以上の納入実績を誇ります。 また、各種半導体基板の0.5インチウェーハから12インチウェーハまでの受託加工を承っております。
詳細情報
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加工前形状
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加工後形状例1
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加工後形状例2
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加工後形状例3
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加工後形状例4
企業情報
弊社は、兼松株式会社のグループ企業として、1982年に、海外から輸入された半導体製造設備の販売及びメンテナンスサービスを専門とする技術商社としてスタート致しました。昨今は、お客様の幅広いご要望にお応えする為に、製造設備のみならず、部品、部材、サブシステムなどの海外製品をお客様にご安心してお使い頂けるよう心掛けてまいりました。 商社でありながら、企画、開発、設計、製造を担当する技術部の充実を図り、技術的なトータルソリューションをご提案し、国内外のお客様へビジネスをグローバルに展開しております。 今後、新たな付加価値やサービスをエレクトロニクス技術商社としてご提供し、お客様と共に成長する企業であり続けたいと考えております。
