酸素フリー、高効率のウェーハプロセス！図を用いて分かりやすく説明しています
当資料は、有限会社ベックが取り扱う『真空EFEM』の資料です。 真空ロードポートVLPの構成をはじめ、真空EFEMの構成や多数の 真空EFEMのオペレーション、真空EFEMとプロセス装置を掲載。 また、カラーで図を用いて分かりやすく説明しています。 是非、ダウンロードしてご一読ください。 【掲載内容】 ■真空ロードポートVLP (Vacuum Load Port)の構成 ■真空EFEMの構成 ■真空EFEMのオペレーション FOUPのローディング ■真空EFEMのオペレーション ポートチャンバーとFOUPの真空排気 ■真空EFEMのオペレーション ウェーハ搬送（ロード/アンロード） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【その他の記載内容】 ■真空EFEMのオペレーション プロセス完了 ■真空EFEMのオペレーション ポートチャンバーN2ベント ■真空EFEMのオペレーション FOUPのアンロード ■真空EFEMとプロセス装置 ■真空EFEMの特長 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
有限会社ベックは、真空ポンプのアイドリング中にリザーバを排気する「エコバックシステム」、「ゴム手袋の手袋装着機」、高効率の真空引きシステム「真空サーバー」などを取り扱っている会社です。 当社は、真空装置の節電・生産性向上に貢献します。