多数のVGXオペレーションや、特長などを分かりやすく掲載しています！
当資料は、有限会社ベックが取り扱う、FOUP用真空ガス置換 システム『VGX-system』のご紹介資料です。 現在のパージシステムの概要をはじめ、方法や問題点、VGXの 概要、多数のVGXオペレーションなどを掲載。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■現在のパージシステム ■現在の方法（1） ■現在の方法（2） ■現在のパージシステムの問題点 ■VGXの概要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【その他の掲載内容】 ■VGXオペレーション（1）～（8） ■VGX-systemの特長 ■FOUP内の酸素濃度 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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有限会社ベックは、真空ポンプのアイドリング中にリザーバを排気する「エコバックシステム」、「ゴム手袋の手袋装着機」、高効率の真空引きシステム「真空サーバー」などを取り扱っている会社です。 当社は、真空装置の節電・生産性向上に貢献します。