初期形状はトレンチ、ホールで与えることが可能！基板、堆積膜の経時変化を計算するモジュール
『表面形状・シミュレーション・モジュール（FPSM3D）』は、 粒子モンテカルロ法により、基板表面での様々な反応を考慮し、 基板、堆積膜の経時変化を計算するモジュールです。 セル法特有のシャープな境界面は用いず、固体層占有率による勾配から 入射角を決定し、入射角依存の鏡面反射確率、反応確率に適用。 PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能です。 【特長】 ■粒子モンテカルロ法を用い、セル法により固体層占有率、表面被覆率を 考慮し形状を表現 ■ガス種、反応式、錯体、そしてポリマーなどの数に制限はない ■3次元直交メッシュで定義されるが、初期形状はトレンチ、ホールで 与えることが可能 ■入射粒子情報はPEGASUS気相モジュール、PEGASUS表面科学系モジュールからの 出力を使用するか、もしくは当製品が備えている入力方法で使用者が指定 ■反応式は使用者が定義し、鏡面反射確率、反応確率は入射角度および 入射エネルギーに依存する関数を使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【機能一覧（一部）】 ■応用分野：PVD、プラズマCVD、そしてドライエッチングなどのプロセスにおける表面形状シミュレーション ■解析手法：モンテカルロ法、セル法 ■対象次元：3次元 ■ソルバー：ドライバー FPSM3D／モジュール FPSM3D ■座標系：3次元デカルト座標 ■メッシュ形状：直方体 ■境界条件：拡散反射、鏡面反射、物理・化学反応 ■GUI機能：付属のGUIMを使用（PNGファイル出力、印字出力、テキストデータ入出力、表示画面の任意拡大縮小） ■解析規模：無制限（実際にはメモリー容量と計算時間で制限されます） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
真空／プラズマ／希薄気体及び、気体エレクトロニクス分野における物理現象を解析するソフトを自社開発／販売を志して独立した企業です。私どもでは創造力、開発力、技術力そして競争力を企業精神としております。
