LLO品質が格段に向上！装置を御検討いただくためのデモ機もご用意しております
『LSL-40/100』は、固体UVパルスレーザを用いて当社独自の光学設計により 均一ラインビームを基板に照射し、ワークをステージで動かすことにより 基板全面にLLOプロセスを行うための小型低価格装置です。 新型レーザを採用することにより、LLO品質が格段に向上。 電源のみでご使用いただけます。 【特長】 ■小型・低価格(キャスターにより移動可能) ■電源のみで使用可能 ■クラス4の安全対策(光路摺動部遮蔽・インターロック安全回路) ■装置を御検討いただくためのデモ機もご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■波長：355nm ■ラインビームサイズ：100mm/40mm x 0.4mm ■照射エネルギー密度：100～500mJ/cm2可変(バリアブルアッテネータ) ■ビームオーバラップ：0％～95％(ステージ制御) ■ワークサイズ(mm)：最大500x500(ご要求により設計) ■処理能力：10分(300mm 角パネル) ■ステージストローク：300mmx300mm ■装置サイズ(mm)：L1200 x W900 x H1700 ■ユーティリティ：AC200V/100V 15A ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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