測定範囲は最大2100×2000mmまで可能！パソコンにてサーボモータの速度と位置決めをしています
『Torin G8／G10』は、フォトマスク基板にストレスをかけずに垂直に立てて 基板の厚み、平面度を対向する2基の半導体レーザが高精度に計測する フォトマスク基板検査装置です。 測定範囲は最大2100×2000mmまで可能。 主定盤、コラム、スライド部はすべてインド産黒ミカゲ石を使用し、計測に 重要な計測軸にはエアーベアリングが採用されています。 【特長】 ■2基の半導体レーザが高精度に計測 ■計測に重要な計測軸にはエアーベアリングを採用 ■1基の光学プローブは鏡面基板のみに使用され絶対厚みと両平面度を得られる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【G8仕様(一部)】 ■最大計測サイズ：Y1400×1600mm ■計測厚み：5～20mm ■装置の大きさ：W2900×D1500×H2500mm ■重量：8ton など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
土井精密ラップ株式会社は、主にラッピング加工、ポリッシング加工などを行っている会社です。当社は、ラッピング加工のパイオニアとして豊富な経験と最新技術により、精密研磨以上の加工精度にて対応可能です。超硬合金・セラミック・石材等の硬質材料から、アルミ・銅などの軟質材料に至るまであらゆる材料の加工ニーズにお応えします。
