大型化するFPD基板(G11)に対応！横搬送共に無摺動を実現した角型ゲートバルブ
『Gate valve T-Motion』は、バルブサイズ(幅×高さ)の制約無く装置設計者の 思いのままに設定可能な角型ゲートバルブです。 独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を 実現しました。 バルブサイズを超えた部品の共通化により、低価格な製品となっております。 【特長】 ■低振動 ■低パーティクル ■低価格 ■さまざまな世代にマッチ ■大型化するFPD基板(G11)に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【オプション】 ■シール材質の変更 ■表面処理の追加 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
《IT・ハイテク産業の発展に貢献します。》 当社は創立以来、各分野において、一貫して特殊バルブの開発・生産を行ってまいりました。 おかげさまでＩＴ分野、特に半導体、ＦＰＤ（液晶、有機ＥＬパネル）、薄膜ソーラーパネル、 ハードディスクの製造に使用される当社の真空バルブはクリーンなバルブとしてユーザーの皆様から厚いご信頼をいただき、 幅広く採用されるまでに成長いたしました。 また当社は、日本で唯一のラプチャーディスクメーカーとして多くの実績を持ち、お客様から高い評価を得ています。 これからも、より高性能な商品の開発、顧客および市場のニーズに応えられる商品アイテムの充実、国内・海外での製造・販売、 アフターサービス体制の一層の強化など産業の発展に寄与できるようにグローバルに取り組んでまいります。