高平坦度なウェーハ加工を実現！当社が取り扱うシリコンウェーハ用装置を多数掲載！
当カタログは、スピードファムが取り扱うシリコンウェーハ用装置を ご紹介しています。 φ300mmシリコンウェーハ用の両面同時鏡面研磨のためのポリッシング装置 「DSM20B-5P-4D-AL」や、ドライイン-ドライアウト構造の「EP-300-X」、 カセットtoカセット、スロットtoスロットのウェーハ搬送が可能な 「EP-200-XW-II」などを掲載。 製品の選定に是非、ご活用ください。 【掲載内容】 ■DSM20B-5P-4D-AL ■EP-300-X ■EP-200-XW-II ■Fully Automated Single Side Polishing Line FAM 59SPAW ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
スピードファム株式会社は研磨装置などの製造・販売を行っている会社です。 情報社会に技術革新が加速度的に進む現在、先端製品に欠かせない各種デバイス基板に求められる平坦面は、ナノ単位での超精密平面仕上がりが必要とされています。 その超精密加工プロセスにおける平面ニーズは、平行度、定寸管理、平坦度などにおける高精度で厳しい数値目標の達成と高い生産性、さらに歩留まり向上、清浄度維持と要求に限界はありません。 スピードファムは、独創的な技術とノウハウでハードとソフト両面から「装置」と「消耗副資材」を開発してお客様の様々なニーズにお応えし、最適な加工プロセスを提案してまいります。