録画機能搭載！貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応
『SIM-2300EG』は、録画機能搭載のウェハ・エッジビューワーです。 ウェハの薄さが求められる昨今のプロセスで、バックグラインド時の 「チッピング」や「クラック」、貼合せ時の「異物付着」や「位置ずれ」など、 気になるウェハ・エッジ状態を見ることが可能。 高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載し、 エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示ができます。 【特長】 ■ウェハサイズは4インチ～12インチに対応 ■高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載 ■貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応 ■エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ■検査ウェハ：6インチ～12インチ（ホルダ変更で4インチ対応） ■検査対象：ウェハのエッジ部分 外周360度 角度設定1度単位 ■ビューワー ・3方向 同時表示 ノッチ検査可能 ・目視にてクラック、傷、異物、膜面状態、面荒れなどが視認可能 ■スループット：10秒/枚～30秒/枚（条件による） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
【用途】 ■ウェハ・エッジ状態を見る ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
私たちはこれまで、製紙・パルプ・自動車・自動車部品・半導体・液晶・スマホ等、時代の流れに 敏感に対応しながら、お客様に最適なシステムインテグレーションの提案を行いたいとの思いを 持ち挑み続けてきました。 今後はこの考え方を継承しつつ、人々の生活に必要不可欠な「食品・医薬品・化粧品」の「三品業界」 にも積極参入を進めます。 また、半導体や高機能液晶といった成長が見込まれる分野では装置メーカーとして精密アライメント 露光装置・検査装置やプロセス製造装置の開発と製品作りにも積極的に関わっていきます。