R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した 活性化アニール炉です。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～6インチまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまで お使いいただけます。 また、活性化後の炭化除去も可能な「VF-5100」もご用意しております。 【特長】 ■ミニバッチ、50枚処理、R&Dから量産ラインに対応 ■3～6インチまで幅広いウェーハサイズに対応 ■炉内は当社独自のメタルフリー構造 ■ウェーハ近傍の温度モニターが可能 ■N2ロードロックを標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■C to C搬送を備え、高スループットを実現 ■H2雰囲気でのトレンチラウンド化アニールに対応(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■SiCパワーデバイス用、研究開発、量産用、活性化アニール ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
ジェイテクトサーモシステムは、軸受（ベアリング）材料向けの熱処理装置の製造・販売から事業をスタートしました。以降、現在に至るまで、技術革新や産業構造の変化に素早く対応し、金属だけにとどまらず、半導体や電子部品、ディスプレイなど、多様な製造装置の開発に取り組んでまいりました。
