最大16個のFOUPストッカー！300mmウェーハ対応のラージバッチ縦型炉
『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。 LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。 シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に 適しています。 【特長】 ■ラージバッチ、最大100枚一括処理可能 ■最大16個のFOUPストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉+5枚一括搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ■オペレータフレンドリーな高機能制御システム搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■本体寸法(mm)：1250(W)×4300(D)×3450(H) ■ヒータ：LGOヒータ ■均熱長(mm)：1040 ■ウェーハサイズ(mm)：300 ■最大処理枚数：100枚 ■I/Oポート：2 ■FOUPストック：16(標準) ■ウェーハ搬送：枚葉+5枚一括 ■オプション：強制冷却システム、N2ロードロック、HOST通信(HSMS/GEM) ■処理品：シリコン、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■酸化・拡散・CVD処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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