R&D～量産まで使用可能な～Φ200mmウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000』は、後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現した ミニバッチ縦型炉です。 ミニバッチ、50～75枚の選択処理が可能なほか、～Φ200mmまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 超高温処理が可能でパワーデバイス製造やVCSEL用縦型熱処理システムに 適しています。 【特長】 ■ミニバッチ、50～75枚処理の選択が可能、R&Dから量産ラインに対応 ■～Φ200mmまで幅広いウェーハサイズに対応 ■最大4個のカセットストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■本体寸法(mm)：1200(W)×1450(D)×2610(H) ■ヒータ：LGOヒータ ■均熱長(mm)：350～500 ■ウェーハサイズ(mm)：～Φ200 ■最大処理枚数：75枚 ■I/Oポート：4 ■カセットストック：4 ■ウェーハ搬送：枚葉 ■オプション：強制冷却システム、N2ロードロック、ウェーハサイズの兼用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■酸化・拡散・CVD、活性化アニール処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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