ウエッジ角度によるエラーが皆無
FZくさび形ステージ（FZ080）は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。
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基本情報
〇機械的特性（FBZ085010） ステージプレート素材：アルミニウム-黒アルマイト モータ：HR8モータ（ピエゾ超音波定在波モータ） ベアリングタイプ：精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付 エンコーダ：ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ ケーブル⾧：3m MTBF（平均故障時間）：30,000Hr ステージ質量：1300g 可動質量：310g RoHS：適合 真空対応オプション：高真空（HV）1.4×10-5Pa（10-7 Torr）まで 超高真空（UHV）1.4×10-8Pa（10-10 Torr）まで 〇性能仕様 移動範囲（mm）：10mm エンコーダー分解能：標準 10nm 双方向繰り返し精度：標準 0.1μm 精度標準：3μm 各モードの最小送り量 （エンコーダと制御に依存）：ACモード100nm UHRモード5nm DCモード<1nm
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体、バイオメディカル、および計測機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
サーボ制御が得意な工苑。 ○油圧サーボ制御では、制御装置の設計や製造、制御ソフトを作成し、協力会社との連携で最適な油圧ユニットと油圧シリンダの設計・製作も行なっています。油圧サーボ弁などの選定も行っています。 ○超音波モータによる高速移動と高精度位置決め ○サーボモータ用ドライバによるロボットや無人搬送車での活用 ○受託開発による建設機械のコントローラや制御装置 ○産学連携による油圧ロボット製作、2軸または6軸モーションベースの設計・製作など動くものを作っています。