「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！
当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。 【特長】 〈デュアルゲートバルブ〉 ■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い ■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバーのメンテナンス性が向上 ■コンパクト設計(シングルバルブと同サイズ) ■開口45×450mmに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 〈シングルゲートバルブ〉 ■カム駆動式による逆圧対応 ■100万回動作 ■ロープライス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ナカンテクノ株式会社は、主に印刷機械類の製造・販売を行っている会社です。設立以来、一貫して印刷機メーカーとして発展し、近年は液晶ディスプレイ（LCD）向け配向膜印刷装置の取り扱いメーカーとして、フラットパネル・ディスプレイ業界で日本、韓国、台湾、中国、ヨーロッパを主な活動地域として、液晶パネルの製造に不可欠な配向膜印刷装置及びその関連装置の設計・製造・販売を広く行っています。印刷機械類の事でご相談があれば、是非当社までお問い合わせください。