ナノ単位で、モールドからワークに複数回に分けて転写する装置。 つくば産総研監修のもとに、弊社が製作した装置です
ナノインプリント本体[モールドテーブルαβ調整モールド機構 高精度XYθウエハステージ ウエハ湾曲機構及びXYステージ アライメント顕微鏡×2 恒温恒湿器 イオナイザー マスフローコントローラ×4(TFP、CTFP、窒素、ヘリウム)] UV光源 デジタルカメラ モールドサイズ：□22mm, □50mm, □75mm（有効は70～72mm角） （石英、厚み6.35mm台形） ウエハサイズ： 8インチSiウエハ（厚み725um）、200mm角ガラス基板（厚み0.55~1.2 mm） 加圧力：10~250N(22mm角49N 0.1MPa, 50mm角250N 0.1MPa, 75mm角0.05MPa) 平行光のLED-UV光源（365nm Φ4インチ面積、10mJ/cm2以上） アライメント精度： プリアライメント1μm以下(パターン検出/エッジ検出）、 精密アライメント100nm以下（モアレ検出） アライメント用精密XYステージ：可動領域120×120mm、分解能10nm以下 アライメント用精密θステージ:可動域、分解能0.25秒以下(0.00007°以下)
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ナノ単位で、モールドからワークに複数回に分けて転写する装置
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当社は、FAの自動化・省力化を進めるお客様に向けて、自動車などの制御装置＜ハードウェア・ソフトウェアの設計・製作及び電子回路設計＞、FA装置＜半導体製造用、カード製造用、画像検査、搬送装置など>をオーダーメイドで製作しています。 お客様の想いを形にすべく、開発、設計、組立調整、アフターメンテナンスまで、一貫したサービスをご提供し、幅広いFA業界のお客様にお引き立ていただいてます。 市場にない装置の開発、機能を最小限に厳選したコンパクトな設備、また、現在ご使用の設備を改造したいなどの、様々なお客様のご要望に弊社の技術と経験で対応致します。 お客様の省エネ化、省人化のサポートは、知識と経験を積んできました当社技術者にお任せください！