4inと8inサイズをご用意！アライメント露光が可能な多品種量産用半自動露光装置！
株式会社三明で取り扱っている『半自動マスクアライナー』をご紹介します。 当製品は、露光光源が照度分布±5％以内の多品種量産用半自動露光装置です。 自動ギャップ調整から手動アライメント、自動コンタクト露光、自動搬送の 流れで行うことができます。 詳細については、お気軽にご相談ください。 【仕様】 ■φ4in φ6in φ8in 仕様 ■Top-side アライメント ■Bottom-side アライメント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の仕様】 ■露光光源：照度分布±5％以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクトL/S 3μm ・ハードコンタクトL/S 1μm ■アライメント精度 ・Top-side ±2μm ・Bottom-side ±5μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
私たちはこれまで、製紙・パルプ・自動車・自動車部品・半導体・液晶・スマホ等、時代の流れに 敏感に対応しながら、お客様に最適なシステムインテグレーションの提案を行いたいとの思いを 持ち挑み続けてきました。 今後はこの考え方を継承しつつ、人々の生活に必要不可欠な「食品・医薬品・化粧品」の「三品業界」 にも積極参入を進めます。 また、半導体や高機能液晶といった成長が見込まれる分野では装置メーカーとして精密アライメント 露光装置・検査装置やプロセス製造装置の開発と製品作りにも積極的に関わっていきます。
