リークの大きいサンプルやナノサイズのサンプルの誘電率を測定可能
誘電体は、各種の電子機器に利用されており、近年の電子機器の小型化により、 電子機器に用いられる誘電体が微細化する傾向にあります。 このため、微細なキャパシタ構造の誘電率を精度よく測定することができる 技術の開発が望まれています。 しかしながら、キャパシタ構造が微細になると、寄生容量の影響が相対的に 大きくなり、誘電体の静電容量を正確に測定することが難しくなるため、 誘電率を精度よく測定することが困難となります。 本発明は、微小領域の誘電率を精度よく測定することができる誘電率の 測定方法に関する技術です。 【本発明で実現が期待されること】 ■リークの大きい薄膜・セラミックスの誘電率計測 ■誘電体ナノシートなどナノ構造体の誘電率の直接定量評価 ■誘電率の微視的な面内ばらつきに関する定量評価 ■マイクロ波帯の誘電率を比較的簡便な方法で計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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技術移転による収益は、新たな研究資金として大学や研究者へ還元され、更なる研究成果を創出するために利用されます。この一連の循環“知的創造サイクル”を円滑に回すため、我々は技術移転を全力で進めて参ります。取り扱っているシーズは、特許、ノウハウ、データベース、プログラム等です。 下記の大学と技術移転基本契約等を締結し、連携体制を構築しております。（2024年4月1日現在） ・東北大学・弘前大学・岩手大学・秋田大学・福島大学・山形大学・東北学院大学・岩手医科大学・福島県立医科大学・会津大学・宮城大学・北海道大学