3点から多点支持まで可能！装置の仕様・要求にあわせた微振動制御技術
『αシリーズ』は、微振動制御技術の粋を結集した空圧アクティブ 微振動制御システムです。 半導体・液晶がますます微細化され、生産効率を上げるために、 高精度、高速化へ推移し、そこでは大きな直動外乱を素早く解消する技術が 求められています。 当製品は、このような市場の要望に応え、優れた除振性能、制御性能、 および復元性能を有します。 【特長】 ■優れた振動絶縁特性 ■早い整定時間と正確な位置制御 ■高い耐用性を保持 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【空圧制御の特長】 ■低域から優れた振動絶縁特性 ■静荷重の支持が容易 ■位置・姿勢制御が容易 ■ストロークが大きい ■クリープしない ■発熱しない ■漏洩磁束がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
振動を制御することで、快適な環境・精密な環境・安全な環境を創出することが出来ます。 特許機器は、振動問題を解決するパイオニア企業です。 地震に対する減震免震製品から、ナノテクノロジー産業の微振動制御まで、環境測定、構造解析、応答予測などソリューション技術と用途に合わせた振動対策製品（免震耐震製品、防振装置、制振装置、除振装置など）を提供します。