不活性ガスをはじめ、特殊ガスも対応可能な高性能・簡易型フィルター
半導体ガス供給システムのマスフローコントローラー、レギュレーター、バルブなどの重要なコンポーネントを保護。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
仕様流量：1～50L/min向け 捕獲性能：0.003μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/4"VCR、1/2"VCR 製品材質：ステンレス製およびニッケル製
価格帯
納期
用途／実績例
ガス供給機器の保護
企業情報
TESCOM圧力調整器 HOKE製バルブ、GYROLOK継手 Unuted Electric社製Precision sensors製品 mott製高純度フィルター 高温高圧流体の試験装置、石油、化学産業及び一般産業向けの装置に向けた流体制御機器の取り扱いをしています。 高圧水素に対応する圧力調整器、バルブの取り扱い実績あり。 半導体製造装置向けの圧力調整器、フィルター、差圧計などを幅広く取り扱い。 高圧の流体を使用する産業に向けて以下のような製品群も取り扱っています。 ウースターコントロール社ボールバルブ 超高圧バルブ、継手（オートクレーブ社、ビューテック社、ＨＩＰ社） 高圧用電磁弁 ステンレスチューブ、パイプ、フレキシブルチューブ、 テフロン等各種配管材 流量計、圧力計、その他計装用機器 マスフローコントローラ、 コントロールバルブその他流体制御機器 変換継手、反応管、各種製作品の少量、短納期で手配致します。 インコネル、ハステロイ等、特殊材の継手、製作品の手配致します。
