超高速昇温、節水、節電の次世代を見据えたは超純水加熱装置
Trebor社超純水加熱装置QUANTUM NXTシリーズは半導体製造ラインでの洗浄用の超純水を加熱する為の装置です。 特許取得済みのメーカー独自の加熱手法により業界屈指の超高速昇温/降温を可能としている為、設定温度までは約40秒で到達、到達後は流量0で最小限の電力で温度が維持できるので節水、節電もでき環境を配慮したエコ・イノベーションな超純水加熱装置です。
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基本情報
【特徴】 ○業界屈指の昇温/降温速度 Trebor社は特許技術である薄膜抵抗による加熱を採用しているので、熱容量が低く、加熱効率98％以上の超高速の昇/降温を実現しています。 ○業界をリードする温度精度±0.3℃ 石英上の薄膜による効率的な熱伝達とゼロクロス式SSRを用いたマルチPID制御により高い温度精度と応答性を実現しています。 ○設定温度維持の為の排水の必要なし 設定温度到達後は最小の電力で温度を維持、アイドル時の最低流量は0です。 ○オプションで1台で２つの温度制御が可能 1台で2種類の温度を設定して別々に昇温、降温し使用することが可能なので従来の1台1温度設定で使用していた加熱器2台を1台に集約することで設置スペースも大きく削減できます。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 シリコンウエハーの洗浄 ガラス基板の洗浄 サファイア基板の洗浄 詳細はお気軽にお問合せください。
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| QTMNXT20V208E1L | 20kW、208VAC、Ethernet通信、温度設定数1、outlet数1 |
| QNXT288V400E2L | 最大で電力容量288kWまで対応できますので詳細はお問い合わせください。 |
カタログ（1）
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企業情報
海外の電子電気機器を輸入販売する専門商社です。海外の最先端技術を応用した製品をいち早く紹介し、皆様のお役に立てる様に活動しています。 半導体用装置、半導体用薬品、プリント基板搬送装置、計測機器、赤外線加熱装置等の製品を取扱っており各メーカーは非常にユニーク且つ特徴のある製品を製造しています。半導体産業においてはパターンの微細化が進んでおり、それに伴い洗浄効果が重要視されています。弊社が取扱っているIMTEC社製品は高性能、高効率、高清純、高純度で世界中の半導体ウェットプロセスのラインで使用されています。TREBOR社はノンメタルダイアフラムポンプにおいて常に業界をリードしています。 Celesco社製計測機器はあらゆる分野において直線変位または速度が簡単に計測できます。 信用第一、誠実、迅速対応をモットーとし、お客様のニーズにタイムリーに応える会社です。