スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着
『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE（PLD） システムです。 1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。 モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換できます。 【特長】 ■操作性が高くコンパクト ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着 ■1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニット ■6種類のターゲットが使用可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【その他の特長】 ■スキャニングRHEEDを標準装備 ■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換 ■完全コンピュータ制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社パスカルでは、PLD /レーザーMBE装置をはじめとする真空装置、 原子散乱分光法などの表面分析装置、極低温冷凍機システム、アジレント （バリアン）の真空ポンプなど、研究開発に有用なさまざまな実験装置を 取り扱っております。 真空機器・装置、理化学機器・装置においてグローバルな視野を持ち、 常に時代の先を見つめ、新しい技術と商品ニーズを先取りし、ユーザー様の 役に立つ製品を提供し続けてまいります。