スピンコーターでの塗布！ポリイミド等ご要望に応じ膜厚調整可能です！
当社では、『保護膜・絶縁膜塗布』を承っております。 レジスト、ポリイミド等に加工でき、他の支給材でも対応可能。 レジストの場合、ロールコーター、スピンコーター共に1～2μmで、 ポリイミド等ご要望に応じ膜厚調整可能です。（～5μm） スピンコーターは、有効エリアがφ300mmの場合、最大300mm×300mmに 加工できます。 【特長】 ＜加工可能膜種＞ ■レジスト、ポリイミド等（他の支給材でも対応可） ＜膜厚＞ ■レジストの場合、ロールコーター、スピンコーター共に1～2μm ■ポリイミド等ご要望に応じ膜厚調整可能（～5μm） →スピンコーターでの塗布 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【加工サイズ】 ■ロールコーター MAX：470mm×370mm（レジスト） ■スピンコーター MAX：300mm×300mm（レジスト、ポリイミド等）※有効エリアはφ300mm ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
具体的には、各企業様や公的研究所機関、大学等の研究開発部門からフォトリソ・エッチング技術でACF・有機EL・材料評価・MEMS・太陽電池・装置評価用基板へのパターニング加工のご依頼を戴いております。 主に薄膜の金属膜のファインピッチのパターン加工を得意としておりますが、厚膜の場合もその仕様により加工方法含め検討致しますのでご相談下さい。 またスパッタ成膜加工のみもお受けしております。 基材はガラスのみならず、PC、PET、PI等各種フイルム基材等への加工もお受けしております。 また基材及び成膜手配からもお受け致します。
