コンパクトな設計のマニュアル式オートアライメント露光装置(マスクアライナ）です。
【主な特長】 ・多品種・小ロット生産や実験・研究に最適なマニュアル一括露光装置 ・高精度オートアライメントおよび裏面アライメント機能を搭載。 ・割れ基板へのオートアライメントが可能。 ・フットプリントを縮小化することで省スペースを実現。 ・UV-LED光源搭載可能 ・レシピ管理機能 ・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助とLOG保存。
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基本情報
【主な仕様】 ・サイズ：Ø2～Ø8” ・マスクサイズ：□4～□9” 【対応基板】 ・シリコン、セラミック、サファイア、ガラス、水晶、他 ※各種カスタマイズご相談承ります。
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企業情報
当社は創業以来、匠の技を駆使・伝承し最先端技術を確立してまいりました。「品質第一」「顧客優先」を第一にお客様と共に喜べる製品づくりに努め、数多くの方々から格別なるご指導とご愛顧を賜り、今日まで堅実に成長を遂げております。 独自の光学・精密機構・電子制御・ソフトウェアの技術を持ち、オプトメカトロニクスの複合技術である露光装置を中心に技術力の向上に努めております。また、品質管理と環境管理への取り組みとしてISO9001とKESの認証を取得しております。今後も、お客様のニーズにタイムリーにお応えできる装置づくりを念頭に「高品質」「短納期」「低コスト」に取り組んでまいります。
