工業ガス(窒素・酸素・アルゴン・水素等)の露点・酸素濃度計測
深冷分離プラントにおける窒素・酸素・アルゴンをはじめとし、水素やそのほか様々なガスが工業生産されています。工業ガスの純度管理には、多くの場合露点(水分量)、酸素濃度を不純物として測定し、ガス純度を決定します。通常はPPMレベルでの管理(露点で言えば-70 ℃DPなど)ですが、高純度ガスの場合PPBでの管理を行います。 露点測定の場合、簡易的に静電容量式露点計で計測することが一般的ですが、精度を要する場合は鏡面冷却式(ミラー式)露点計が、腐食性ガスの場合腐食性ガス中水分計が使用されます。酸素濃度測定の場合、ガスによりジルコニア式・ガルバニ電池式酸素濃度計が使用されます。
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用途／実績例
● ガスの純度管理 ● 天然ガス水分管理 ● 腐食性ガス製造工程 ● 半導体産業における腐食性ガス純度の管理 ● 塩素乾燥装置 ● 冷媒中の水分管理 ● 医療用酸素ガス中の水分管理 ● ポリエチレンの製造工程 ● 熱処理炉内の水分管理 ● 溶接工程におけるAr,He中水分管理 ● CO2乾燥、ドライアイス製造工程 他多岐にわたる
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企業情報
国産静電容量式露点計TK-100シリーズをはじめ、ミラー式露点計、酸素濃度計、加湿装置、腐食性ガス中水分計という、水分管理に関わる様々な計測器・装置を紹介しております。これらを有機的に組み合わせ、また、配管、ライン作成、ユニット化により、オーダーメイドの製品をご提供し、複雑な問題点にも迅速に対応させて頂きます。