自動で薬液を調合してエッチング槽に必要量投入！シーケンサ制御方式を採用しています
当製品は、GaAsウェハを専用バスケットで自動搬送及びエッチングする 装置です。 ローダ部よりバスケットに入れたGaAsウェハを投入すると、搬送機により ローダ部からエッチング槽、リンス槽、アンローダ部へと自動搬送。 また、装置下側に薬液供給タンクがあり、自動で薬液を調合して エッチング槽に必要量投入します。 【主な仕様】 ■被加熱物：GaAs（ガリウムと砒素）ブロック ■カセット：PTFE専用カセット ■搬送機：自動ロボット搬送（サーボモーター駆動） ■制御方式：シーケンサ制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社ダン科学は、特にクリーンテクノロジーを中心とした洗浄技術・ 清浄技術・計測技術を核として、幅広い角度から未来を見つめ、創業以来の 開発魂を生かした新製品を作り続けています。 超洗浄装置・空気清浄装置・真空装置の製造から検査までの一貫作業を 清浄環境の中で行っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
