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超高真空・酸化雰囲気対応基板加熱ヒーター

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最終更新日:2022年10月06日

ケニックス株式会社
ケニックス株式会社
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ヒーターの大型化・任意形状対応、表面処理機構増設、真空装置接続等の対応が可能!

当製品は、制御応答性が高く、ガス放出のきわめて少ない構造の クリーンヒーターです。 試料直接照射加熱、及びホットプレート間接加熱ともに対応可能。 熱容量が小さく、超高真空中・大気圧中・酸素雰囲気中での使用ができます。 【特長】 ■均一照射が可能なハロゲンランプ ■経済的でエネルギー効率・応答性の高いヒーター ■石英ボディーランプ、高温対応の金属リフレクタ・ベースで構成 ■ガス放出が極めて少ない構造 ■最高温度900℃(温調測定点、真空中)加熱可能 ■非常に制御応答性が高い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    その他ヒータ
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超高真空・酸化雰囲気対応基板加熱ヒーター

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  • 関連リンク - http://www.kenix.jp/product/choukousoku.html

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基本情報

【仕様例(一部)】 ■基板加熱ヒーター ・光源:ハロゲンランプ(5本) ・電力:600W×5本 ・照射エリア:φ100 ・加熱雰囲気:真空及び酸化雰囲気 ・ランプ制御:PID制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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