レンズ測定：光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CMシリーズ

光学式3D形状粗さ測定機 MarSurf CM mobileは、 レンズを高速かつ高精度に解析出来る共焦点顕微鏡です。 ■『光学式3D形状粗さ測定機 MarSurf CM mobile』を 　OPIE’26（2026年4月22～24日@パシフィコ横浜） 　株式会社マブチ・エスアンドティー様ブースにてご覧頂けます！ 　レンズ設計・製造展：ブースNo.【 I-32 】へ是非ご来場ください。 ■光学産業のアプリケーション例 ◎マイクロレンズアレイの幾何形状 ◎ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定 　→ 測定時間：1レンズに付き4秒 　→測定物設置後は全自動測定＆全自動評価 ◎車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度（PV、RMS） ■特長 ◎粗さ（ISO 4287、13565、25178）、トポグラフィー、 　輪郭／形状、細孔、粒子分析、欠陥検出 ◎ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒 ◎鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定 ◎振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応

【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中！】 ＜掲載測定事例／光学部品編 2023春編＞ ■ウエハーレベルレンズ／オプティクス（寸法・体積測定） ■マイクロレンズアレイ（幾何形状） ■車載用 LiDAR のマイクロレンズ（面精度（PV、RMS）） ■マイクロレンズ（設計図に対する形状検査） ■非球面マイクロレンズ（マスターとレプリカの比較）　　他 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。 2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。 評価項目例 3D／2D： ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積／摩耗