カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 【特徴】 ・4インチ～8インチウェハ用移載機 ・CR内でのウェハの自動移載が可能 ・2カセット同時やピッチ変換・Face to Face (Back to Back)等の機能を付加可能 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
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基本情報
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能です。 ・オープンカセット←→オープンカセット移載 ・オープンカセット←→石英(SiC)ボート移載 ・2カセット同時移載 ・ピッチ変換移載 ・Face to Face (Back to Back) 移載 ・長尺ボートへの枚葉式移載 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ・拡散工程/洗浄工程前後の運搬カセット-プロセス専用カセット間のウェハ移載
企業情報
1930年（昭和5年）に輸出入の専門商社として発足し2020年で創立90周年を迎え、渡辺商行グループの更なる発展に全力で取り組んでいるところでございます。 1960年代半ばより、半導体業界に対しケイ素(Si)関連製品を販売する方針のもと、石英加工品、シリコーンゴム成形品、洗浄装置などの自社製品を製造販売を開始いたしました。 モノづくり商社として、質の高い製品・サービスを提供することにより、IT社会の成長とともに成長してまいりました。 今後とも株式会社渡辺商行を中核とするグループ各社の社員が、毎日活き活きと働き、職場全体が学びの組織となる会社づくりを目指します。 そして、社会の真のニーズに応える強い意志を持ってこれからも日々あらゆる事業に邁進していく所存です。 今後とも益々のご支援とご愛顧を賜りますようお願い申し上げます。