高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの超音波モータ。装置に合わせカスタムメイドにも対応します。
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。 大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
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基本情報
【主な超音波】 ■HRモータ（標準型） 1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 ■SEモータ（最新型） 1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 ■EDGEモータ（小型軽量） 最速120mm/sec、100nmのステップ分解能、300mNの駆動力、質量0.55g
価格情報
カスタム製品のため都度お見積りとなります
納期
用途／実績例
【代表的なステージ試作・開発事例（国内外）】 ○低軌道衛星向けレーザー通信用多軸プラットフォーム ○原子力間顕微鏡用ステージ ○放射光施設での精密回転ステージ ○イオンビーム（FIB）検査用4軸(X-Y-Z-T)ステージ ○半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ ○細胞イメージング用5軸低速モーションステージ ○SWaPを考慮したオートフォーカス・モジュール ○ドローン用搭載カメラ用ミニチュア・ジンバル ○ウェハ検査用レンズの駆動モジュール
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企業情報
サーボ制御が得意な工苑。 ○油圧サーボ制御では、制御装置の設計や製造、制御ソフトを作成し、協力会社との連携で最適な油圧ユニットと油圧シリンダの設計・製作も行なっています。油圧サーボ弁などの選定も行っています。 ○超音波モータによる高速移動と高精度位置決め ○サーボモータ用ドライバによるロボットや無人搬送車での活用 ○受託開発による建設機械のコントローラや制御装置 ○産学連携による油圧ロボット製作、2軸または6軸モーションベースの設計・製作など動くものを作っています。