低周波数の微少振動測定用
●3方向のサーボ型検出器を用いて、X,Y,Zの微少振動を測定 ●測定モードは、加速度・速度・変位を切り替え可能です。 ●建造物の常時微動などの微振動の測定に ●半導体製造工場など振動を嫌う床面の測定に ●電子顕微鏡の超高分解能を活かすため設置時の環境測定に ●精密加工を行う工作機械の設置架台の振動計測に
●3方向のサーボ型検出器を用いて、X,Y,Zの微少振動を測定 ●測定モードは、加速度・速度・変位を切り替え可能です。 ●建造物の常時微動などの微振動の測定に ●半導体製造工場など振動を嫌う床面の測定に ●電子顕微鏡の超高分解能を活かすため設置時の環境測定に ●精密加工を行う工作機械の設置架台の振動計測に
