真空配管設備の不安を解消!プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の事例を進呈中
製品使用例のご紹介です。 ・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。 ・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。 ・真空設備のセンターリングが劣化・腐食し、臭いが漏れ出て困っている・・ といったお悩みはありませんか? KITZ SCT では流路のお悩みをトータルでご提案しております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ:https://www.kitzsct.com/contact/product
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基本情報
お困りではありませんか? プラズマや高温、ガスによる影響で連結部に使用しているセンターリングが劣化してしまうなどの問題にたいする改善策をまとめた事例集です。 センターリングの検討をされている方、選定の一助までにご覧ください。
価格情報
製品仕様によって異なります。詳しくは当社ホームページへお問い合わせください。
納期
用途/実績例
・CVD装置やエッチング装置においてプラズマを使用している ・連結部にO-リングを使用しており、ランニングコストがかさんでしまっている といった方に特にご検討いただいております。
カタログ(1)
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KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。