直交する複数モードのQ値を調整する技術
ジャイロ装置に用いられる2次元振動子は、x軸方向とy軸方向のQ値を整合させる必要があるものの、製造誤差等に起因してそれらのQ値が僅かに異なる場合がある。このため、x,y軸方向それぞれのQ値を独立して制御できることが望まれる。 振動子においては、振動によって熱流が発生し,この熱流によってQ値が影響される(熱弾性損失)。そのため、構造中に熱流の経路を追加したり、熱流を遮断することでQ値の調整が可能になる。 本発明の2次元振動子は、基本的な振動子構造に加えて、剛性を大きく変化させること無く,熱流のみを制御するための,加工可能部材が予め設けられている。これらの加工可能部材を適宜切断することにより、互いに直交する第1モードおよび第2モードにおけるそれぞれのQ値を独立して制御可能とする。
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