試料を浮遊、溶融させ、精度の高い物性値(比熱、熱伝導率)を測定する方法
現状、溶融シリコン、溶融金属等を扱う製造ラインにおいて、その効率化には精度の高い物性値を用いたシミュレーションが必要であるが、十分な物性値はない。 本発明では溶融状態の試料にレーザー光を照射し、温度応答の振幅と位相差から比熱や熱伝導率などの物性値を高精度に測定することを可能にした。本発明では、浮遊溶融による高純度状態を維持し、さらに、超伝導マグネット磁場により試料の振動および回転を抑制させることにより、精度の高い物性値の測定を達成した。
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